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在材料科學、微電子制造以及精密機械加工等多個領域,對表面微結構的研究和分析至關重要。其中,凹坑的平均深度是一個關鍵參數(shù),對于評估材料性能、產品質量等具有重要意義。而三維形貌儀作為一種先進的測量分析儀器,在計算凹坑平均深度方面發(fā)揮著不可替代的...
Subnano3D干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。Subnano3D干涉輪廓儀產品優(yōu)點:1、美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件。2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等。3、PI納米移...
HerzTS主動隔振臺介紹:在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。HerzTS主動隔振臺特點:1、在全部的6個自由度范圍...